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三氟化氮檢測儀的設計特點(diǎn)與功能

更新時(shí)間:2024-04-15      點(diǎn)擊次數:161
  三氟化氮檢測儀是一種用于監測三氟化氮(NF3)氣體濃度的儀器,主要應用于半導體芯片、平板顯示器、光纖和光伏電池等行業(yè)。在這些行業(yè)中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑使用。檢測儀能夠實(shí)時(shí)監測空氣中的三氟化氮濃度及泄漏狀況,確保工作環(huán)境的安全。
  三氟化氮檢測儀設計特點(diǎn):
  1.工業(yè)級標準:檢測儀是按照工業(yè)級設計標準研發(fā)生產(chǎn)的,這意味著(zhù)它具備高可靠性和穩定性,適合在各種工業(yè)環(huán)境中使用。
  2.防爆設計:該檢測儀具有防爆特性,獲得了國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監督檢測中心頒發(fā)的防爆合格證,確保在潛在爆炸性環(huán)境中的安全使用。
  3.智能模塊化傳感器:采用智能模塊化傳感器設計,即插即用,自動(dòng)識別。這種設計允許通過(guò)更換不同的傳感器來(lái)檢測多種氣體,提高了儀器的靈活性和經(jīng)濟性。
  4.內置進(jìn)口傳感器:配備高精度的進(jìn)口傳感器,確保了檢測結果的準確性和可靠性。
  三氟化氮檢測儀功能:
  1.在線(xiàn)監測:能夠實(shí)時(shí)監測三氟化氮(NF3)氣體的濃度,及時(shí)發(fā)現潛在的危險或泄漏情況。
  2.報警功能:當檢測到三氟化氮氣體超過(guò)預設的安全閾值時(shí),儀器會(huì )發(fā)出報警,提醒操作人員采取相應的安全措施。
  3.多用途:適用于半導體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等行業(yè),在這些行業(yè)中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑使用。

三氟化氮檢測儀

 

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